氣體質(zhì)量流量計(jì)的原理主要基于?熱擴(kuò)散原理、?振蕩式測量原理和?壓降式測量原理。? 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)利用熱擴(kuò)散原理，通過測量氣體帶走熱量來計(jì)算流量。振蕩式測量原理利用?傳感器振動(dòng)頻率與流體密度成反比的關(guān)系來測量流量。壓降式測量原理則利用傳感器兩側(cè)的壓力差和流體密度來計(jì)算流量。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的具體工作原理

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)利用熱擴(kuò)散原理，通過兩個(gè)熱電阻（RTD）來測量氣體流量。一個(gè)RTD作為速度傳感器被加熱，另一個(gè)作為溫度傳感器感應(yīng)氣體溫度。當(dāng)氣體流過速度傳感器時(shí)，會(huì)帶走熱量，導(dǎo)致傳感器溫度下降。為了保持溫度恒定，必須增加通過傳感器的電流，增加的電流與氣體流速成正比，從而計(jì)算出氣體質(zhì)量流量。

其他類型氣體質(zhì)量流量計(jì)的原理

除了熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)，還有其他類型的流量計(jì)，如高純氣體系統(tǒng)用質(zhì)量流量計(jì)，它通過毛細(xì)管的熱交換原理來測量氣體質(zhì)量流量。這種流量計(jì)在傳感器部分的毛細(xì)管處繞兩個(gè)電阻，形成電橋，當(dāng)氣體流動(dòng)時(shí)，電橋輸出信號與流量成正比，從而計(jì)算出氣體質(zhì)量流量。